GD-Profiler 2
Espectrómetro de emisión óptica de descarga luminosa (GDOES) para un análisis rápido del perfil de profundidad elemental de materiales conductores, no conductores e híbridos.
¿Qué es el GDOES?
Como sugiere el acrónimo en ingles, GDOES combina una descarga luminiscente (GD) con un espectrómetro de emisión óptica (OES). Esta es una técnica analítica que proporciona tanto el perfil de superficie / profundidad como la composición elemental a granel de materiales sólidos y capas rápidamente y con alta sensibilidad a todos los elementos.
Esta es una técnica analítica que proporciona tanto el perfil de superficie / profundidad como la composición elemental a granel de materiales sólidos y capas rápidamente y con alta sensibilidad a todos los elementos.
La operación implica la pulverización controlada de un área representativa de la muestra para ser analizada por el plasma GD y la observación simultánea de OES de las especies pulverizadas. La técnica GD es destructiva. Se hace un cráter en la muestra después del análisis.
La técnica es extremadamente rápida y la resolución de profundidad puede ser excelente (nivel nm) si la muestra es plana sobre el área pulverizada.
Consultas
GDOES responderá en minutos múltiples preguntas como:
- ¿Qué elementos están presentes en la muestra?
- ¿Cuáles son los niveles de concentración?
- ¿La muestra es homogénea en profundidad?
- ¿Se aplicaron recubrimientos o tratamientos superficiales a la muestra?
- ¿Qué espesor tienen los recubrimientos?
- ¿Hay alguna contaminación en una interfaz?
- ¿Hay alguna oxidación de la muestra?
- ¿Hay alguna difusión en las capas?
El GD-Profiler 2 proporciona un análisis rápido y simultáneo de todos los elementos de interés, incluidos los gases nitrógeno, oxígeno, hidrógeno y cloro. Es una herramienta ideal para la caracterización de películas delgadas y gruesas y estudios de procesos.
Equipado con una fuente de RF que puede funcionar en modo pulsado para muestras frágiles, la gama de aplicaciones del GD-Profiler 2 ™ va desde estudios de corrosión hasta el control del proceso de recubrimiento PVD, desde el desarrollo de PV de película delgada hasta el control de calidad LED y se utiliza en Universidades, así como en laboratorios de investigación industrial.
Para películas delgadas y gruesas, desde nanómetros hasta cientos de micras con resolución de profundidad nanométrica.
Las aplicaciones típicos incluyen: PV, metalurgia, fabricación de LED, estudios de corrosión, orgánicos y microelectrónicos, investigación y desarrollo de materiales, optimización de procesos de deposición, PVD, CVD, recubrimientos de plasma, automotrices, baterías de Li, etc.
No se requiere UHV.
Medición de todos los elementos de interés: (incluidos H, D, O, Li, Na, C, N, etc.) con detectores patentados de alta dinámica.
Monocromador opcional: con modo de imagen y alta detección dinámica para un registro de espectro completo y una flexibilidad total.
Fuente de RF pulsada: para operación en modos RF y RF pulsado con auto-coincidencia
Doble bombeo diferencial: de la fuente para la preparación patentada de muestras SEM
Función de limpieza: de plasma incorporada
UFS patentado: para el procesamiento ultrarrápido de materiales poliméricos y orgánicos
DIP patentado: interferómetro incorporado para la medición directa de la profundidad de línea
Varios diámetros de ánodos y accesorios para muestras de formas extrañas.
- El generador RF-Only es estándar de Clase E y está optimizado para la estabilidad y la forma del cráter, lo que permite un análisis de superficie real.
- La fuente puede ser pulsada con adquisición sincronizada para obtener resultados óptimos en muestras frágiles. El uso de una fuente de RF permite el análisis de capas y materiales convencionales y no convencionales.
- La óptica simultánea proporciona una cobertura espectral completa de 110 a 800 nm, incluido el acceso UV profundo para analizar H, O, C, N y Cl.
- Las rejillas holográficas originales grabadas con iones de HORIBA aseguran el mayor rendimiento y resolución de la luz para una máxima eficiencia y sensibilidad a la luz.
- La detección de HDD patentada proporciona velocidad y sensibilidad en la detección sin compromiso.
- Medición en línea de la profundidad del cráter y la tasa de erosión con interferómetro incorporado patentado. INMERSIÓN.
- El compartimento de muestras de fácil acceso permite mucho espacio para la carga de muestras.
- Potente software QUANTUM ™ con la herramienta de redacción de informes Tabler.
- Puntero láser CenterLite (pendiente de patente) para una carga de muestra precisa.
La opción de monocromador disponible solo de HORIBA proporciona la herramienta perfecta para aumentar la flexibilidad del instrumento al tiempo que agrega la capacidad «n + 1».
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